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名稱內(nèi)容測量范圍Z軸（垂直）320μm(Ra=80μm)X軸（水平）17.5mm分辨率Z軸（垂直）0．01μm/±20μm0．02μm/±40μm0．04μm/±80μm0．08μm/±160μm測量項(xiàng)目參數(shù)Ra、Rq、Rz、Rt、Rp、Rv、RS、RSm、Rz(JIS)、Ry(JIS)、RSk、R3z、Rmax、Rpc、Rmr、Rku、RΔa、RΔq、Rδc、Ry
更新時間：2024-11-09
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